专利详情

专利名称	一种纳米压印光刻机
申请号	CN200710178789.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101452207	公开（授权）日	2009.06.10
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	姜骥;谢常青;岑专专;商立伟;刘兴华;刘明
主分类号	G03F7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种纳米压印光刻机至一种纳米压印光刻机	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上，且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上；所述支架的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆套接在上梁螺孔内，传动导向压杆套接在下梁通孔内，螺杆和传动导向压杆相连并套接在支架的梁上；所述十字槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋进，并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆上端与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和使用可靠的纳米压印光刻机。