专利详情

专利名称	一种照明均匀性补偿装置
申请号	CN201210187778.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102722090A	公开（授权）日	2012.10.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	何毅;张海波;甘大春;林妩媚;邢廷文;廖志杰;卢亮
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种照明均匀性补偿装置至一种照明均匀性补偿装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分能量均匀性的目的。该均匀性补偿装置的补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为多边形或圆弧形；补偿单元分两层排布，互相遮盖另一层两补偿单元间形成的间隙。本发明有效地增加照明视场的划分等份数量，减小每等份的宽度，从而提高补偿装置的补偿精度，同时并不增加补偿单元的个数，不会增加机械设计和控制系统设计的难度，易于实现。