专利详情

专利名称	激光器温度稳定控制系统
申请号	CN201310018462.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103092229A	公开（授权）日	2013.05.08
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	张立佳;吴晓斌;赵江山;丁金滨;李慧;刘斌;周翊;王宇
主分类号	G05D23/20(2006.01)I	IPC主分类号	G05D23/20(2006.01)I;G05B11/42(2006.01)I;H01S3/041(2006.01)I
专利有效期	激光器温度稳定控制系统至激光器温度稳定控制系统	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种激光器温度稳定控制系统，包括位于激光器的放电腔腔体内部的放电区出气口处的第一温度传感器、位于放电腔腔体内部的放电区进气口处的第二温度传感器、位于腔体内壁的第三温度传感器、位于热交换系统和腔体冷却系统的出水管道内的第四温度传感器和第五温度传感器。第一至第五传感器分别用于检测放电腔内放电区出气口、放电腔内放电区进气口、放电腔腔体、各出水管道内的冷却水的温度，且均通过线路与ADRC连接，以将温度传感器检测的温度信号传送给ADRC。ADRC根据各温度信号来控制热交换系统、腔体冷却系统的进水管道上的流量调节阀，以及控制所述电加热器，从而实现对激光器的温度控制。本发明可以提高准分子气体激光器系统的温度稳定性。