专利详情

专利名称	用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置
申请号	CN200810102475.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101539568	公开（授权）日	2009.09.23
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	刘静;杨阳
主分类号	G01N33/48(2006.01)I	IPC主分类号	G01N33/48(2006.01)I;G01N13/00(2006.01)I;G01N19/00(2006.01)I;G01N1/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置至用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用气体对流换热对探针实施冷却/加热的冰镊/光刻装置，包括冷/ 热气体传输系统、操作系统和数据采集系统；操作系统包括位于底座上的操作室，操作室的上端设观察视窗，左右侧壁上设通孔，前或后侧壁上设排气孔；操作室内底座上置二维操作平台，平台作平面二维运动，平台两侧设第一和第二旋转机械臂，机械臂端部装探针；冷/热气传输系统由冷源储气瓶、热源储气瓶，冷源绝热传输管线和热冷源绝热传输管线组成，分别与冷源储气瓶和热源储气瓶相连的冷源绝热传输管线和热源绝热传输管线伸入操作室；数据采集系统由计算机、与计算机相连的数据采集装置和热电偶组成，热电偶连接于探针尖端部分。具结构简单，易于实现，安全可靠，成本低等优点。