专利详情

专利名称	具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法
申请号	CN200910051290.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101559914	公开（授权）日	2009.10.21
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李铁;皋华敏;刘翔;周萍;王跃林
主分类号	B81B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I;G01N33/50(2006.01)I
专利有效期	具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法至具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及具有深亚微米孔结构的数字微液滴驱动器结构及方法，其特征在于所述的数字液滴驱动器包括双极板和单极板两种结构：所述的双极板的结构的下层极板由绝缘衬底、驱动电极阵列、介质层、深亚微米孔结构和疏水膜层构成，上层极板包括绝缘基板、参考电极层、深亚微米孔结构和疏水膜层，上层极板和下层极板由支撑结构进行连接；驱动电极呈阵列状均布于绝缘衬底上，介质层覆盖在驱动电极阵列上，深亚微米孔结构和疏水膜层组成超疏水膜层，覆盖在介质层上；单极板结构与双极板结构中的下层极板结构相同。采用深亚微米级结构有效增强疏水膜层的疏水性能，有效减小结构的厚度，降低驱力电压。