专利详情

专利名称	位相型波带片光子筛
申请号	CN200810118972.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101661225	公开（授权）日	2010.03.03
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	贾佳;谢长青;刘明
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G21K1/00(2006.01)I
专利有效期	位相型波带片光子筛至位相型波带片光子筛	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种位相型波带片光子筛，该位相波带片光子筛由中心部分的位相菲涅耳波带片圆环和包围在该位相菲涅耳波带片圆环周围的光子筛圆孔构成。所述位相菲涅耳波带片圆环和光子筛圆孔均制作在透明介质上，先在透明介质上制作位相菲涅耳波带片，在该位相菲涅耳波带片周围制作光子筛，光子筛的圆孔包围位相菲涅耳波带片的圆环。光子筛最外环小孔的直径与位相菲涅耳波带片最外环环带的宽度一致，二者都受限于微细加工得最小线宽。光子筛在制作时所基于的波带片与其内部所包围的位相菲涅耳波带片的参数相同，且每个圆孔的直径是相应环带宽度的 1.5倍。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。