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一种多掺杂氧化锌基宽禁带导电材料及其制备方法

  • 申请号:CN200910195700.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海硅酸盐研究所
  • 公开(公开)号:CN101661808
  • 公开(公开)日:2010.03.03
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种多掺杂氧化锌基宽禁带导电材料及其制备方法
申请号 CN200910195700.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN101661808 公开(授权)日 2010.03.03
申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明(设计)人 黄富强;万冬云
主分类号 H01B1/00(2006.01)I IPC主分类号 H01B1/00(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 一种多掺杂氧化锌基宽禁带导电材料及其制备方法 至一种多掺杂氧化锌基宽禁带导电材料及其制备方法 法律状态 授权
说明书摘要 本发明属于宽禁带导电半导体材料制备领域,具体涉及一种多掺杂氧化锌基宽禁带导 电材料及其制备方法。本发明的多掺杂氧化锌基宽禁带导电材料由掺杂物源和锌源经混合、 烘干、研磨、预烧、压模成型及烧结制得。本发明获得的高性能氧化锌基宽禁带导电材料 制备工艺简单,成本低廉,具有很高的透明导电性能以及在高温潮湿环境下较高的稳定性 能,可以作为高性能透明导电氧化锌薄膜制备的靶材,在太阳能电池和光电器件领域具有 广泛的应用前景。

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