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微结构保角性转移方法

  • 申请号:CN201210593568.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103021818A
  • 公开(公开)日:2013.04.03
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 微结构保角性转移方法
申请号 CN201210593568.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103021818A 公开(授权)日 2013.04.03
申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 狄增峰;郭庆磊;张苗;魏星;薛忠营;母志强;戴佳赟
主分类号 H01L21/02(2006.01)I IPC主分类号 H01L21/02(2006.01)I
专利有效期 微结构保角性转移方法 至微结构保角性转移方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种微结构保角性转移方法,至少包括以下步骤:提供一自下而上依次为底层硅、埋氧层及顶层X纳米薄膜的XOI衬底,在所述顶层X纳米薄膜上涂覆哑铃状的光刻胶作为掩膜,进行刻蚀得到哑铃状的微结构;然后利用氢氟酸溶液或者BOE溶液将所述埋氧层进行腐蚀,直至所述微结构中间图形微米带部分完全悬空,且所述两端区域以下仍有部分未被完全腐蚀掉的埋氧层,形成固定结,最后提供一基板与所述微结构相接触,并迅速提起基板以将所述微结构转移到所述基板上。本发明的微结构保角性转移方法利用简易的端点固定图形化设计,对微结构纳米薄膜进行固定,实现完全保角性转移,大大的降低了保角性转移工艺的复杂度,降低了工艺成本。

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