专利详情

专利名称	基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法
申请号	CN201210540870.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103043600A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李无瑕;崔阿娟;刘哲;顾长志
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法至基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是基于薄膜材料的三维自支撑微纳米功能结构的制备方法，其包括步骤：在清洗过的光滑衬底上过渡层的制备；制备纳米薄膜并从光滑衬底上剥离纳米薄膜；制备具有孔洞结构的支撑衬底；将纳米薄膜到孔洞结构支撑衬底上的转移；在纳米薄膜上制备微纳图形；离子束辐照诱导纳米薄膜上微纳图形产生形变及形成三维自支撑微纳米结构的成品。本发明是基于纳米薄膜上微纳米结构的制备与离子束辐照诱导的三维形变相结合，制备自支撑三维微纳米功能结构体的新方法，具有工艺灵活、效率高、可控性好，低成本和可大面积制备等特点，所制备的微纳图形的结构、形貌、尺寸、周期可设计、材料种类多并具有新奇功能与物性等特点。