专利详情

专利名称	包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统
申请号	CN201110306405.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103048047A	公开（授权）日	2013.04.17
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司	发明（设计）人	刘涛;李国光;赵江艳;艾迪格·基尼欧;马铁中;夏洋;严晓浪
主分类号	G01J3/447(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/447(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01N21/21(2006.01)I;G01N21/25(2006.01)I
专利有效期	包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统至包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面，易于调节聚焦、可实现无色差、可保持偏振特性、且结构简单。而且，根据本发明提供的垂直入射光谱仪及光学测量系统，增加了相位补偿元件，通过椭圆偏振测量法可以准确测量出样品琼斯矩阵中rxx、ryy的相位差Δ，即Δ的正弦和余弦函数，增加了偏振光谱仪的测量精度。