专利详情

专利名称	一种可实时数据处理的原子层沉积设备
申请号	CN201110300813.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103031533A	公开（授权）日	2013.04.10
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	王燕;李勇滔;夏洋;赵章琰;石莎莉
主分类号	C23C16/44(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/44(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	一种可实时数据处理的原子层沉积设备至一种可实时数据处理的原子层沉积设备	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种半导体工艺设备，尤其是涉及一种可实时数据处理的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件和控制部件；所述控制部件包括计算机和数据处理模块；所述计算机与所述数据处理模块连接，所述数据处理模块分别与所述真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件连接。本发明通过采用计算机和数据处理模块，提高了原子层沉积设备的处理速度，减少设备故障，使得整个设备结构简洁清晰，各个部件之间的关系变得简单，便于组装、生产和维护。