专利详情

专利名称	基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法
申请号	CN201310041059.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103076724A	公开（授权）日	2013.05.01
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	刘广义;齐月静;苏佳妮;周翊;王宇
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法至基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于双光束干涉的投影物镜波像差在线检测装置和方法，其中装置包括光源(LA)、投影物镜(PO)、参考标记(RP)、探测器(DE)、掩模板(MA)。掩模板(MA)用于将由所述光源(LA)出射的激光转换为两束相干光，该两束相干光经所述投影物镜(PO)后在所述投影物镜(PO)的焦平面处发生干涉，产生干涉条纹；该干涉条纹经过所述参考标记(RP)后照射在所述探测器(DE)上，转化为电信号；根据该电信号的强度得到所述干涉条纹的位置偏移量，再根据偏移量的大小可得到所述投影物镜(PO)的波像差。本发明能够测量全部37项Zernike系数，简化了测试流程和波像差计算方法，提高了测量精度。