专利详情

专利名称	一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法
申请号	CN201010613934.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102179967A	公开（授权）日	2011.09.14
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	陈莹;董显林;王根水;张帅
主分类号	B32B9/04(2006.01)I	IPC主分类号	B32B9/04(2006.01)I;C04B35/47(2006.01)I;C04B35/472(2006.01)I;C04B35/50(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B41/50(2006.01)I
专利有效期	一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法至一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种镧锶锰氧-钛酸锶铅复合薄膜，为层状结构，是由钛酸锶铅薄膜层、镧锶锰氧薄膜层及基底层依次由上至下层叠而成。所述复合薄膜的制备是首先使用醋酸或醋酸和去离子水作为溶剂，制得稳定的镧锶锰氧前驱体溶液和钛酸锶铅前驱体溶液；再采用旋转镀膜法先在基底片上制备所需要厚度的镧锶锰氧薄膜，再在所制得的镧锶锰氧薄膜上制备所需要厚度的钛酸锶铅薄膜，最后快速冷却到室温即可。本发明的复合薄膜具有均匀性好、粗糙度小、无微裂纹，性能稳定，且具有良好的电学性能、铁磁性能及磁介电效应等优点，可与半导体集成电路技术相兼容，用于制造集成的多功能磁/电器件，且制备工艺简单，原料价廉、无毒，污染小，适合规模化生产。