专利详情

专利名称	一种用于小孔标定的检测装置及方法
申请号	CN201110316482.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102445280A	公开（授权）日	2012.05.09
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;许嘉俊;邢廷文
主分类号	G01J9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种用于小孔标定的检测装置及方法至一种用于小孔标定的检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种用于小孔标定的检测装置及方法，激光器发射的光经过滤波孔、聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、半透半反镜后分成两路光，第一路光经过衰减片、分束镜后经反射镜反射的光再经分束镜反射到第一小孔，第一小孔产生衍射球面波透射过分光镜；经过半透半反镜的第二路光经反射镜的光照射第二小孔，第二小孔产生的衍射球面波经分光镜反射后与第一小孔产生的衍射球面波发生干涉，干涉条纹经过聚光镜，再由光学探测器收集；并经过预定的更换操作解出三个小孔产生的衍射球面波的误差。本发明可以提高点衍射干涉仪的测量精度，降低高精度小孔的加工成本。