专利详情

专利名称	一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法
申请号	CN201110120151.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102200667A	公开（授权）日	2011.09.28
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李四华;吴亚明
主分类号	G02F1/21(2006.01)I	IPC主分类号	G02F1/21(2006.01)I
专利有效期	一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法至一种体硅可调谐光学滤波器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔，高掺杂的体硅电阻加热器，下悬臂梁、上悬臂梁，表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁，金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域，右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括：(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域；(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构；(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构；(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构；(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜，形成光学F-P干涉腔体。所制作的该滤波器具有很好的光学性能，且工艺制作简单，结构可靠性高。