专利详情

专利名称	一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法
申请号	CN201010198891.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101907576A	公开（授权）日	2010.12.08
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	崔晓攀;方维政;张传杰;徐华莲;孙世文;杨建荣
主分类号	G01N21/88(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/88(2006.01)I;G01N21/95(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法至一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种检测碲锌镉材料缺陷空间延伸特性的方法。其方法是：使用红外透射显微镜，以碲锌镉材料中的沉淀物为定位标记，测定碲锌镉材料缺陷腐蚀坑在多次腐蚀后的横向移动的取向和距离，结合腐蚀深度的测量确定缺陷的空间延伸特性。本方法定位精度高，腐蚀坑横向位移的测量精度可以达到0.2微米，操作方便，仪器要求简单，解决了长久以来，跟踪观察碲锌镉材料缺陷的定位难题。这对研究碲锌镉材料缺陷的特性，进而降低碲镉汞外延材料的位错密度具有实用价值。