专利详情

专利名称	可实时测量的同步相移斐索干涉装置
申请号	CN201210039555.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102589414A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	姚保利;郜鹏;闵俊伟;雷铭;严绍辉;杨延龙;叶彤
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	可实时测量的同步相移斐索干涉装置至可实时测量的同步相移斐索干涉装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明目的是提供一种能对物体表面形貌进行实时高精度测量的同步相移斐索干涉装置。本发明将同步相移技术和斐索干涉方法相结合，解决了传统干涉仪稳定性差、测量精度低、不能实时测量等技术问题。该可实时测量的同步相移斐索干涉装置包括照明单元、干涉单元、同步相移单元。本发明采用同轴干涉光路，充分利用了CCD的空间带宽积，与离轴光路相比具有更高的空间分辨率；本发明采用1/4波片代替传统斐索干涉仪中的玻璃平板，使得物光和参考光具有正交的偏振方向，在实现同步相移前提下保持装置结构的紧凑性；本发明通过一次曝光可以得到四幅相移干涉图样，在保证高空间分辨率的前提下，实现了测量的实时性。