专利详情

专利名称	一种可变角度反射测量装置及其操作方法
申请号	CN201210067482.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102589698A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	汪力;冯辉;潘学聪
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I;G02B26/08(2006.01)I
专利有效期	一种可变角度反射测量装置及其操作方法至一种可变角度反射测量装置及其操作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种可变角度反射测量装置，包括：分别独立控制的第一旋转台和第二旋转台，这两个旋转台的转轴重合；第一旋转台上的样品支架，用于固定样品，使样品的反射面垂直于第一旋转台；位于样品支架的与第一旋转台相反一侧的第一反射镜，反射镜的反射面和样品的反射面垂直，且反射镜的反射面和样品的反射面的交线与第一旋转台和第二旋转台的转轴重合；固定到第二旋转台上的第二反射镜，用于反射从样品发出的第一光束，并将该第一光束垂直于第二旋转台出射，形成第二光束，该第二光束的出射方向与第二反射镜位于第二旋转台的同侧；第三反射镜，用于将从第二反射镜出射的第二光束反射到第一反射镜上。