专利详情

专利名称	自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统
申请号	CN201110009273.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102592963A	公开（授权）日	2012.07.18
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	崔金明;吴晓伟;尉伟;孙方稳;付绍军;韩正甫;郭光灿
主分类号	H01L21/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I
专利有效期	自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统至自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种自动化气体脉冲刻蚀方法、装置及系统，其装置的连接为：装有反应气体和氮气的第一钢瓶和第二钢瓶分别经过电磁阀，连接到膨胀室，膨胀室的另一端与刻蚀室连接，刻蚀室连接挡油阱，挡油阱的另一端连接真空泵，第二钢瓶的另一路直接连接到刻蚀室。在膨胀室和刻蚀室、刻蚀室与挡油阱之间都放置电磁阀和针阀，通过控制上述电磁阀和针阀控制通放气和气流的大小。并在膨胀室和刻蚀室上各连接气压计，通过检测气压和控制各处电磁阀的开关实现脉冲刻蚀。最终实现低成本、高效率和高质量的自动化气体脉冲刻蚀。