专利详情

专利名称	一种基体表面高硬度低磨损的 MoS₂复合薄膜的制备方法
申请号	CN201310026859.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103060765A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	柯培玲;秦晓鹏;汪爱英;王振玉;张栋
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面高硬度低磨损的 MoS₂复合薄膜的制备方法至一种基体表面高硬度低磨损的 MoS₂复合薄膜的制备方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明公开了一种基体表面高硬度低磨损的MoS2复合薄膜的制备方法，该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，结合优化的工艺条件，在基体表面依次沉积金属Ti打底层、TiN过渡层，以及Ti/MoS2复合薄膜，得到强膜基结合力、高硬度，并且在多种摩擦环境中具有低的摩擦系数和磨损率的MoS2复合薄膜，其纳米硬度为11GPa以上，临界载荷值为60N以上，在相对湿度为30%、50%、70%的室温空气，N2气氛和液压油环境中的摩擦系数均在0.055以下，因此能够对基体进行有效的减摩防护，具有良好的应用前景。

交易流程

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2、平台验证，实名审核

3、合同监控，代办手续

4、专员跟进，交易保障

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