专利详情

专利名称	可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法
申请号	CN201210540625.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103033488A	公开（授权）日	2013.04.10
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王睿;魏劲松
主分类号	G01N21/41(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/41(2006.01)I;G01N21/17(2006.01)I
专利有效期	可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法至可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种可实时观察监测z扫描光学非线性测量装置和方法，主要包括光源调制监测部分，数据采集部分以及照明观察部分。装置中采用两个光源，既可以方便切换光源，采用信号发生器控制岀射激光的脉冲宽度，脉冲周期，功率可调；可以测量样品的透射开孔和透射闭孔数据，还可测量样品反射开孔数据；本发明不仅适用于透明材料的非线性吸收系数和非线性折射率，而且适用于半透明，不透明材料的非线性测量。装置中对于样品运动平台加入了显微物镜，照明光源以及CCD相机，可以实时观察样品表面形貌，避免由于样品形貌变化对测量数据的影响；同时加入示波器实时监测作用激光波形功率，提高材料非线性测量的精度和准确性。