专利详情

专利名称	一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置
申请号	CN200910080916.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101847559A	公开（授权）日	2010.09.29
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	汪明刚;刘杰;夏洋;李超波;陈瑶;赵丽莉
主分类号	H01J37/244(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/244(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I
专利有效期	一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置至一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于等离子体浸没注入剂量检测的法拉第装置，该装置包括一个用于将收集到的离子流转化成电信号的法拉第杯和一个为该法拉第杯安装提供支撑的保护环。法拉第杯由杯身和杯口构成，杯身具有三层结构，在电性上分别是外导电层、杯身绝缘层和内导电层，外导电层用于屏蔽，杯身绝缘层用于隔离内导电层和外导电层，内导电层用于收集信号；杯口具有三层结构，在电性上分别是上导电层、杯口绝缘层和下导电层，上导电层用于接负偏压，杯口绝缘层用于隔离上导电层和下导电层，内导电层用于收集从法拉第杯内部跑到杯口的二次电子。本发明提高了法拉第检测结果的精确度。