采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法
- 申请号：CN201010143078.0
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所
- 公开(公开)号：CN101847677A
- 公开(公开)日：2010.09.29
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法 | ||
| 申请号 | CN201010143078.0 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101847677A | 公开（授权）日 | 2010.09.29 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 王晓峰;杨华;刘祯;曾一平;王国宏 |
| 主分类号 | H01L33/36(2010.01)I | IPC主分类号 | H01L33/36(2010.01)I;H01L33/42(2010.01)I |
| 专利有效期 | 采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法 至采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种采用MVPE两步法制备氧化锌透明电极的方法，包括：第一步，生长缓冲层；第二步，生长电极层；其中，生长缓冲层时金属舟的温度比生长电极层低30至200℃；生长缓冲层时金属舟的载气流量是生长电极层时的1/10至1倍；生长缓冲层时衬底的温度比生长电极层时高0至150℃。利用本发明，有效改善了氧化锌透明电极的界面性质，降低了LED的工作电压和串联电阻。 | ||
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