专利详情

专利名称	一种光学干涉检测同轴度控制方法
申请号	CN201110386255.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102538699A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	宋伟红;伍凡;侯溪
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种光学干涉检测同轴度控制方法至一种光学干涉检测同轴度控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种光学干涉检测同轴度控制方法，其可以实现干涉仪光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度检测和控制，包括干涉仪(1)、标准镜(2)、被测镜面(3)、六维调整架和计算机(8)。转动六维调整架的转台(5)绕光轴旋转被测镜面(3)，将转动前后的被测镜面(3)面形检测数据导入计算机(8)进行数据分析可获得干涉仪系统的光轴和被测镜面中心旋转轴的同轴度信息，并以此为依据调节六维调整平台来实现干涉仪(1)光轴和被测镜面(3)旋转轴的同轴度对准。本发明可以为高精度干涉检测提供光学同轴度的检测和控制方法，结构简单，能有效提高干涉检测的同轴度，进而提高检测精度。