专利详情

专利名称	层间电介质层的平面化方法
申请号	CN201010601744.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102543839A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	殷华湘;徐秋霞;孟令款;杨涛;陈大鹏
主分类号	H01L21/768(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/768(2006.01)I;H01L21/762(2006.01)I;H01L21/76(2006.01)I
专利有效期	层间电介质层的平面化方法至层间电介质层的平面化方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种层间电介质层的平面化方法，包括：在晶片上方提供包括至少一个牺牲层和位于所述至少一个牺牲层下方的绝缘层的多层结构；对多层结构进行第一次反应离子刻蚀，其中控制反应室气压，使得对所述至少一个牺牲层位于晶片中央位置的部分的刻蚀速率大于位于晶片边缘位置的部分的刻蚀速率，以获得凹形刻蚀剖面；对多层结构进行第二次反应离子刻蚀，完全去除牺牲层以及去除绝缘层的一部分，以获得具有平整表面的绝缘层作为层间电介质层。该平面化方法可以用于代替化学机械平面化而提供具有平整表面的层间电介质层，并且获得了更大的可用晶片面积。