专利详情

专利名称	一种基于宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法
申请号	CN201210019094.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102544221A	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	侯云;黄志明;高艳卿;吴敬;张雷博;周炜;张琰;褚君浩
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种基于宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法至一种基于宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于蓝宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法。其中包括：衬底的清洗，薄膜的生长，电极的制备。其特征在于采用湿化学法制备Mn-Co-Ni-O薄膜，选取醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍为原料，以冰醋酸作溶剂，分别配制导电类型是n和p的前驱体溶液，然后使用匀胶机和快速退火炉来制备薄膜材料。采用本方法制备的探测器可以实现紫外-可见-红外宽波段探测。