专利详情

专利名称	全息变间距光栅曝光光路的装调方法
申请号	CN201210575060.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103064140A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	巩岩;刘壮
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I
专利有效期	全息变间距光栅曝光光路的装调方法至全息变间距光栅曝光光路的装调方法	法律状态	公开
说明书摘要	全息变间距光栅曝光光路的装调方法，属于光谱技术领域，为解决现技术中测量难度大、精度低的问题，本发明方法包括步骤一、初建全息变间距光栅的曝光光路；步骤二、建立全息变间距光栅的曝光光路装调装置；步骤三、计算机处理干涉条纹，拟合干涉图中条纹的间距与曲率的函数，计算出光路参数的失调量，依照失调量调整光路；步骤四、重复步骤二和步骤三直到失调量满足公差的要求；步骤五、按照步骤二至步骤四装调另一只光路；步骤六、将光栅基底固定在CCD相机的物面位置，装调完成，在全息变间距光栅的制作中，通过对曝光光路与参考光路干涉条纹的处理、计算获知曝光光路参数，能够实时、准确地获得数据，提高全息变间距光栅的制作效率与精度。