专利详情

专利名称	紫外或可见光光学系统参数的自动检测系统及检测方法
申请号	CN201210535237.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103063410A	公开（授权）日	2013.04.24
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	薛勋;龙江波;赵建科;刘峰;赛建刚;张洁;胡丹丹
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	紫外或可见光光学系统参数的自动检测系统及检测方法至紫外或可见光光学系统参数的自动检测系统及检测方法	法律状态	公开
说明书摘要	本发明涉及一种紫外或可见光光学系统参数的自动检测系统及检测方法，自动检测系统包括光源系统、目标系统、准直系统、显微摄像系统、控制系统、数据处理单元以及显示单元；目标系统、准直系统以及显微摄像系统依次设置在光源系统的出射光路上；待测光学系统设置在准直系统以及显微摄像系统之间；控制系统分别与显微摄像系统、光源系统、数据处理单元以及显示单元相连。本发明提供了一种可同时完成对光学系统畸变及弥散斑直径的自动测量、可有效提高工作效率以及可剔除由人为因素引入的测量误差的紫外或可见光光学系统参数的自动检测系统及检测方法。