专利详情

专利名称	一种投影光学系统
申请号	CN201210027757.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102566011A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;吕保斌;范真节;邓超;张海波
主分类号	G02B13/14(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/14(2006.01)I;G02B13/22(2006.01)I;G02B3/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B27/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种投影光学系统至一种投影光学系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种投影光学系统，用于将物平面的图像成像到像平面内。该投影光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜单元(L1)、第二透镜单元(L2)、第三透镜单元(L3)、第四透镜单元(L4)和第五透镜单元(L5)，所述透镜单元均处于同一光轴，第一透镜单元(L1)具有负折光力，第二透镜单元(L2)具有正折光力，第三透镜单元(L3)具有负折光力，第四透镜单元(L4)具有正折光力，第五透镜单元(L5)具有正折光力，且所述透镜均为球面。本发明的投影光学系统能更好地补偿像差，提升成像质量，并提升了系统分辨力，提高光刻效率。