专利详情

专利名称	一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
申请号	CN200710098680.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101294824	公开（授权）日	2008.10.29
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	陈德勇;王军波;毋正伟
主分类号	G01D5/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01D5/12(2006.01)I
专利有效期	一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器至一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种基于微电子机械的微结构谐振式传感器，由两个微扭摆谐振器并列放置，微扭摆谐振器上有检测用敏感层膜，另一微扭摆谐振器上有差分检测的非敏感层膜。每个微扭摆谐振器由摆轴和分布在摆轴两边的摆片组成，摆片上布置电磁激励线圈和拾振线圈。注入电流的激励线圈在外加磁场洛伦兹力作用下，产生绕摆轴的扭矩，驱使扭摆的振动，振动信号通过拾振线圈切割磁力线产生的感生电动势拾取，并反馈到激励线圈，形成闭环自激，输出谐振频率。本发明工作于扭转模态，提高了品质因素，差动输出抑制了由于温度等外界因素效应造成的误差，工艺简单，检测灵敏度高，可作为生化传感器用于检测微量生化分子，尤其适用于液相条件的生化检测和传感。