专利详情

专利名称	基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统
申请号	CN200810114537.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101294889	公开（授权）日	2008.10.29
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	高鸿钧;郇庆
主分类号	G01N13/10(2006.01)I	IPC主分类号	G01N13/10(2006.01)I;G12B21/00(2006.01)I
专利有效期	基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统至基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种基于脉冲管制冷技术的低温扫描探针显微镜系统，针对振动来源和特性，采用了包括波纹管、压电陶瓷管和弹簧在内的多级主动/ 被动式减振装置。波纹管用于连接系统主腔和脉冲管制冷头，实现系统整体的振动隔绝。针对脉冲管制冷机特有的低频振动，以压电陶瓷管和数字信号处理器为核心的主动式减振装置。铍铜弹簧和阻尼磁铁组成的又一级被动式减振装置进一步对振动隔绝。本发明消除了从脉冲管制冷机、制冷头到扫描探针头的振动，可用于其他要求低温的振动敏感场合，节省大量液氦制冷剂，简化设备操作和维护并显著延长低温保持时间。