专利详情

专利名称	低成本、批量化微棱镜模具的设计方法
申请号	CN201210137051.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102658615A	公开（授权）日	2012.09.12
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	吴一辉;周文超;张平;刘永顺;刘桂根;李凯伟;郝鹏
主分类号	B29C33/38(2006.01)I	IPC主分类号	B29C33/38(2006.01)I;B29L11/00(2006.01)N
专利有效期	低成本、批量化微棱镜模具的设计方法至低成本、批量化微棱镜模具的设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	低成本、批量化微棱镜模具的设计方法，涉及微流控芯片领域，解决现有加工棱镜模具采用的机械加工方法，使棱镜表面粗糙度大，且加工成本高，不便于批量化生产的问题，本发明利用表面光洁的硅片，结合光刻、ICP等MEMS技术，加工出所需角度棱镜左侧面、右侧面、斜面以及后直面等不同面的微小硅片，并且在左侧面和右侧面上刻有角度微型沟槽、竖直微型沟槽与角度标示孔，通过微型沟槽将各个硅片斜面和模具硅片后直面简单地拼接组装，实现微小型棱镜模具的制作，本发明所述的方法使用简单、成本低，易于批量化生产；本发明所述方法还可以应用于其他需要棱镜等相关领域。