专利详情

专利名称	一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用
申请号	CN201210410722.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102928624A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	吕利;秦华;李欣幸;孙建东;张晓渝
主分类号	G01Q60/38(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/38(2010.01)I;G01Q60/30(2010.01)I
专利有效期	一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用至一种射频单电子晶体管扫描探针及其应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及纳米器件及纳米加工技术，尤其是一种射频单电子晶体管扫描探针的结构及其应用。这种射频单电子晶体管扫描探针，包括一端呈针形的凸出部的SOI衬底，还包括集成在所述SOI衬底上、相互匹配的射频共振电路及单电子晶体管；所述单电子晶体管集成在SOI针形凸出部。本发明还提供这种射频单电子晶体管扫描探针的制作方法以及利用这种射频单电子晶体管扫描探针制作电荷扫描成像与示波和原子力显貌成像系统。所述系统具备高灵敏度、高速和高空间分辨率，以及可以进行低温三维扫描形成电荷的分布形貌和几何形貌，也可以定点检测纳米器件或电路中任意一点处的电势及其动态变化。