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Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源

  • 申请号:CN201210487839.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN102931580A
  • 公开(公开)日:2013.02.13
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源
申请号 CN201210487839.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102931580A 公开(授权)日 2013.02.13
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 王立军;陈泳屹;秦莉;佟存住;宁永强
主分类号 H01S5/10(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/10(2006.01)I;H01S5/34(2006.01)I
专利有效期 Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源 至Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源属于激光器领域,该光源可以有效解决现有光致激发困难、制作工艺难度大、成本高、集成困难等问题。该光源包括:n面电极、衬底、Bragg反射镜、波导层、量子阱、全反射层、p面电极、低折射率介质和金属层;衬底上面依次生长Bragg反射镜、波导层、量子阱、全反射层、盖层、p面电极,衬底下面生长n面电极,衬底侧面依次生长低折射率介质和金属层,低折射率介质依次与n面电极、衬底、Bragg反射镜、波导层、量子阱、全反射层和p面电极连接。本发明制作工艺相对简单、性能稳定、成本低、容易集成和推广。

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