专利详情

专利名称	一种组合等离子体放电装置
申请号	CN200910236723.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102056390A	公开（授权）日	2011.05.11
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	张朝前;杨景华;赵玲利;王守国
主分类号	H05H1/24(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/24(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	一种组合等离子体放电装置至一种组合等离子体放电装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个或两个介质阻挡层，在该平板地电极的中部位置开设有进气孔；该滚轴之间的放电位于该平板放电的两侧，具有多组滚轴之间的放电组，该放电组之间设有绝缘介质并设有一定的间隔，在该两侧放电组的上方设有变频风机，在两侧设有薄膜材料进口和出口缝隙，多组电源分别与中间放电体和两侧的滚轴放电组连接。利用本发明，可产生不同的等离子体放电频率和强度，通过集成这些不同放电区域，可实现对材料表面的综合处理。