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玻璃基片装载装置及立式镀膜装置

  • 申请号:CN201210327591.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:深圳先进技术研究院;香港中文大学
  • 公开(公开)号:CN102912310A
  • 公开(公开)日:2013.02.06
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置
申请号 CN201210327591.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102912310A 公开(授权)日 2013.02.06
申请(专利权)人 深圳先进技术研究院;香港中文大学 发明(设计)人 陈旺寿;肖旭东;张撷秋;刘壮;顾光一;杨春雷;宋秋明
主分类号 C23C14/50(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/50(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 至玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转动相连,两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于框架位于窗口的底部,限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时,玻璃基片的横向间距会增大,两个连接件也会随之自然的张开,连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。

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