
玻璃基片装载装置及立式镀膜装置
- 申请号:CN201210327591.4
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:深圳先进技术研究院;香港中文大学
- 公开(公开)号:CN102912310A
- 公开(公开)日:2013.02.06
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | ||
申请号 | CN201210327591.4 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN102912310A | 公开(授权)日 | 2013.02.06 |
申请(专利权)人 | 深圳先进技术研究院;香港中文大学 | 发明(设计)人 | 陈旺寿;肖旭东;张撷秋;刘壮;顾光一;杨春雷;宋秋明 |
主分类号 | C23C14/50(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/50(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
专利有效期 | 玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 至玻璃基片装载装置及立式镀膜装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种玻璃基片装载装置,包括:与地面垂直设置的框架,框架上开设有用于收容玻璃基片的窗口,窗口的尺寸大于玻璃基片的尺寸;相互间隔设置的两个连接件,每一连接件的一端与框架位于所述窗口的顶部可转动相连,另一端与玻璃基片的顶部可转动相连,两个连接件的两个另一端的间距随着玻璃基片受热膨胀而伸长,且随着玻璃基片冷却收缩而缩小;及限位件,设于框架位于窗口的底部,限位件上开设有收容玻璃基片的底部的凹槽。当玻璃基片膨胀时,玻璃基片的横向间距会增大,两个连接件也会随之自然的张开,连接件之间的玻璃基片不会因为挤压而变形。本发明还提供一种应用了玻璃基片装载装置的立式镀膜装置。 |
交易流程
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专利 -
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