专利详情

专利名称	一种锥形氧化锌亚微米棒及其阵列的制备方法
申请号	CN201110224413.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102912436A	公开（授权）日	2013.02.06
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	王兵;江鹏;王中林
主分类号	C30B29/16(2006.01)I	IPC主分类号	C30B29/16(2006.01)I;C30B29/62(2006.01)I;C30B23/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I
专利有效期	一种锥形氧化锌亚微米棒及其阵列的制备方法至一种锥形氧化锌亚微米棒及其阵列的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种以普通硅片为基底通过气相蒸镀法生成的亚微米级的具有六方柱锥形的氧化锌棒的制备方法。首先，将ZnO粉末与C粉按照一定的质量比均匀混合，混合均匀后放入石英舟内，在石英舟上放置一片普通硅片，然后一起放入水平管式气相反应炉内，加热至一定温度，加热过程通入氮气，加热到一定温度后，保温一段时间，并且通入氧气，最后将炉子自然冷却到室温。利用本方法制备锥形氧化锌亚微米结构成本较低，工艺、设备简单，安全可靠，通用性、可操作性强。该锥形氧化锌亚微米结构可用于高灵敏度气体传感器、压力传感器以及氧化锌压电发电机方面的应用。