专利详情

专利名称	采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法
申请号	CN201210428521.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102927930A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王孝坤;闫力松
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法至采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法，涉及一种检测大口径反射镜，解决现有采用子孔径拼接方法对大口径尤其是超大口径的平面镜拼接测量时需要几百甚至上千个，导致误差累积且测试时间长的问题，干涉仪出射的标准球面波经过大口径平行光管后转化为大口径的平面波前出射，通过精确调整出射光瞳与待测大口径反射镜的相对位置，使出射波面逐次入射到待测大口径反射镜的各子孔径区域并返回干涉仪，由此得到各子孔径相位分布数据；计算机提取干涉仪测量的各子孔径相位分布数据进行分析和处理，并通过三角剖分和全局优化的拼接算法获得待测大口径反射镜全口径的面形误差分布。本方法实现对超大口径反射镜的面形检测，测试成本低、效率高。