专利详情

专利名称	平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法
申请号	CN201210405650.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102927969A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	孙晓杰;华建文;代作晓;王志锐;陈仁;樊庆;夏翔;李涛;李文辰;王战虎
主分类号	G01C9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01C9/00(2006.01)I
专利有效期	平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法至平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法，对透射面和反射面探测器上的激光干涉光强数据去除直流和归一化得到的数据，计算THL与RHL、THR与RHR的初始相位差分别为θL、θR，以THLTHR为基准，对RHL、RHR利用θL、θR进行相位补偿，把补偿过的RHL、RHR交替进行反三角运算得到信号的相位差Δθ，对Δθ进行相位调整，得到相位θ，利用θ对应倾角的物理关系反演出动镜实际的微小倾角α。在1/fmin时间长度内计算倾角平均值，求出微倾角的倾斜中心，测量围绕倾斜中心的微倾角变化。本发明方法精度达到0.2个微弧度，可测频率：0.1Hz~200Hz。