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集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法

  • 申请号:CN201110155033.X
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN102253450A
  • 公开(公开)日:2011.11.23
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法
申请号 CN201110155033.X 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102253450A 公开(授权)日 2011.11.23
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 姜婷;吴远大;王玥;安俊明;李建光;王红杰;胡雄伟
主分类号 G02B6/132(2006.01)I IPC主分类号 G02B6/132(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I;G01N21/45(2006.01)I
专利有效期 集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法 至集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法,包括:取一SOI基片;在SOI基片的顶层硅上涂光刻胶,利用光刻的技术在光刻胶上形成图形;利用感应耦合等离子体刻蚀工艺,在顶层硅上刻蚀出脊形光波导结构,去掉脊形光波导结构上的光刻胶;利用等离子体增强化学气相沉淀技术,在脊形光波导结构的表面淀积一层二氧化硅层;再在二氧化硅层的表面涂光刻胶层,利用光刻的技术在光刻胶层上形成图形;利用湿法刻蚀工艺,在二氧化硅层上得到敏感窗口,形成基片;对基片进行划片、抛光处理,得到芯片单元;利用旋涂法,将二氧化锡溶胶均匀涂覆在芯片单元的表面;对涂覆有二氧化锡溶胶的芯片单元进行退火处理;在退火后的芯片单元两端用紫外固化胶粘上光纤阵列。

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