专利详情

专利名称	一种复合型波带片光子筛
申请号	CN201010247543.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102375169A	公开（授权）日	2012.03.14
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	谢常青;潘一鸣;朱效立;贾佳;刘明
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	一种复合型波带片光子筛至一种复合型波带片光子筛	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。相对于菲涅尔波带片，本发明提供的复合型波带片光子筛可以提高数值孔径，提高成像分辨率。随机分布的透光小孔之间可以形成干涉，从而能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，本发明提供的复合型波带片光子筛能够有效提高衍射效率，从而提高成像对比度。