专利详情

专利名称	一种大口径深型非球面镜检测系统
申请号	CN200510116819.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1746648	公开（授权）日	2006.03.15
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	侯溪;伍凡;杨力;吴时彬;陈强
主分类号	G01M11/02(2006.01)	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01);G01M11/00(2006.01)
专利有效期	一种大口径深型非球面镜检测系统至一种大口径深型非球面镜检测系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径深型非球面镜检测系统包括菲索型干涉仪、部分补偿器、被测非球面镜、电控平移台及其计算机控制系统，部分补偿器把干涉仪标准镜头出射的参考平面波前转换为非球面波前，通过计算机控制电控平移台移动部分补偿器，产生的参考非球面波前将与被测非球面相应的环带区域相匹配，通过干涉仪把可分辨干涉条纹对应的相位数据提取出来，由环形子孔径“拼接”算法将所得到的子孔径测试数据进行全孔径波前重构，从而获得被测非球面面形信息。本发明具有所需补偿器容易制造和装调等优点，为大口径、大相对口径非球面镜的研制提供了一种有效的检测手段，具有广阔的应用前景。