专利详情

专利名称	一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置
申请号	CN200510108300.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1749767	公开（授权）日	2006.03.22
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	孟庆端;张雪强;李翡;孙亮;黄建冬;张强;李春光;黎红;何豫生;何艾生
主分类号	G01R31/00(2006.01)	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01);G01R31/12(2006.01)
专利有效期	一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置至一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种检测铁电薄膜微波介电特性的方法和装置，该装置包括基片，基片上覆盖有待测铁电薄膜，待测铁电薄膜上设有共面波导线，该共面波导线包括主传输线和主传输线两侧被缝隙隔开的接地面，所述待测铁电薄膜上还设有1/4波长共面开路线，该1/4波长共面开路线包括传输线和传输线两侧被缝隙隔开的接地面，传输线末端为开路端，该传输线与所述共面波导线上的主传输线相连接。由于本发明的共面波导线上连接有1/4波长共面开路线，利用1/4波长共面开路线所形成的谐振峰可方便地得到待测薄膜的介电特性，并且利用平面工艺可以一次形成检测铁电薄膜时所需要的图形。因此，与现有技术相比，本发明的技术方案结构原理简单、器件制作及装配容易、方便实用。