专利详情

专利名称	大口径非球面光学元件中高频差检测方法
申请号	CN200510086657.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1752730	公开（授权）日	2006.03.29
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	陈伟;伍凡;姚汉民;吴时彬;陈强
主分类号	G01M11/02(2006.01)	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01);G01M11/00(2006.01)
专利有效期	大口径非球面光学元件中高频差检测方法至大口径非球面光学元件中高频差检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径非球面光学元件中高频差检测方法，涉及一种对光学元件面形误差，尤其是表面面形中高频差的检测方法的改进。利用信息处理技术对激光数字干涉仪获取的数据进行处理，采取利用二维功率谱密度求解环围能量评价元件质量，以实现检测目的。本发明提出的方法，全面考虑了被检光学元件面形信息，从而可以更加客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用二维功率谱密度对光学元件面形质量进行评价，提供了一条检测面形质量的新途径，对高质量光学元件的质量评价具有重要的应用价值。