专利详情

专利名称	扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪
申请号	CN201210319723.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102788727A	公开（授权）日	2012.11.21
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	郇勇;代玉静;邵亚琪;彭光健;张泰华
主分类号	G01N3/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N3/00(2006.01)I
专利有效期	扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪至扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种扫描电镜下多用途原位微尺度力学性能测试仪，该力学性能测试仪包括：机架底座、音圈电机、加载轴、光栅尺、动夹具、定夹具、滑块和力传感器；音圈电机安装在所述机架底座的一端，其内部安装有用来测量所述加载轴位移的光栅尺；加载轴由音圈电机内部的电磁线圈驱动运动，其一端位于音圈电机内部，另一端安装有动夹具；机架底座的另一端加工有滑槽，滑槽上固定有滑块；滑块离音圈电机的近端安装有力传感器，定夹具安装在力传感器上。本发明采用了音圈电机，避免了步进电机驱动方式所产生的振动，可以在试样加载状态下获得清晰的高放大倍率的扫描电镜图像，可进行原位拉伸、压缩、弯曲及疲劳力学性能测试。