专利详情

专利名称	MEMS三轴加速度计及其制造方法
申请号	CN201110137641.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102798734A	公开（授权）日	2012.11.28
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	吴亚明;杨丹琼;徐静;钟少龙
主分类号	G01P15/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/18(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	MEMS三轴加速度计及其制造方法至MEMS三轴加速度计及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种MEMS三轴加速度计及其制造方法。MEMS三轴加速度计包括敏感器件层、上盖板层和下支撑体层；敏感器件层与上盖板层、下支撑体层之间有间隙；敏感器件层包括支撑框体、弹性梁、三个独立的敏感质量块、可动梳齿、固定梳齿以及电极，敏感器件层中的三个独立的敏感质量块分别实现X、Y、Z三轴加速度信号的检测；每个方向的加速度传感器由相应的一个敏感质量块通过仅对检测方向敏感的弹性梁悬挂于支撑框体之间，每个敏感质量块上利用体硅加工工艺制作了多对可动梳齿，支撑框体相应地制作多对固定梳齿，以构成一对差分电容作为敏感电容；不同方向的差分梳齿电容对该方向的加速度信号的响应产生差分电容变化。