一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法
- 申请号：CN201210307876.1
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN102808153A
- 公开(公开)日：2012.12.05
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 | ||
| 申请号 | CN201210307876.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102808153A | 公开（授权）日 | 2012.12.05 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘洪祥;裴文俊 |
| 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/10(2006.01)I;G02B1/11(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 至一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 |
本发明提供一种大型望远镜铝反射主镜介质保护膜层的制备方法，其采用主镜面朝上、保护膜蒸发源位于镜面上方，自上向下的制备方式，保护膜材料为一氧化硅（SiO），装载于经过特殊设计的钼蒸发舟中，加热升华向下蒸发，通过氧化作用生成透明、牢固的SiOx(1 | ||
交易流程
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专利 -
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