专利详情

专利名称	一种可调光束能量衰减装置
申请号	CN201010572547.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102063021A	公开（授权）日	2011.05.18
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李艳丽;胡松;严伟;王建;邢薇;杨勇;陈铭勇
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	一种可调光束能量衰减装置至一种可调光束能量衰减装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明是一种光束能量可调衰减装置，放置于投影光刻机中光源和照明系统之间，第一平板玻璃与第二平板玻璃相对放置，使得入射光束经过第一平板玻璃和第二平板玻璃后产生所需强度的输出光束输入到照明系统当中。第一平板玻璃与第二平板玻璃通过装夹机构和传动机构刚性连接在一起靠电机驱动做反向同步旋转运动，以改变光束在平板玻璃上的入射角度，从而改变输出光束的强度。本发明允许连续改变光束的强度而不改变入射光束的位置，改善了投影光刻机中投影束的均匀性，控制了基片上曝光剂量，提高了光刻质量。