专利详情

专利名称	悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器
申请号	CN200510030947.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1786718	公开（授权）日	2006.06.14
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	杨恒;庞洁;李昕欣;王跃林
主分类号	G01P15/02(2006.01)	IPC主分类号	G01P15/02(2006.01)
专利有效期	悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器至悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种悬臂梁－质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器其特征在于(1)质量块由悬臂梁支撑，组成悬臂梁－质量块结构，通过锚点与衬底连接；在质量块两侧对称分布了一对左、右驱动电极和一对左、右敏感电极；所述传感器用纯数字电路制作接口电路；(2)所述的悬臂梁－质量块结构在X－Y平面内绕锚点运动；(3)质量块与敏感电极接触为状态A，质量块不与敏感电极接触为状态B。状态A与B可以用数字电路中的0和1(或者1和0)表示；本发明提供的是一种纯数字式传感器，接口电路易于制又可实现超微小型化而灵敏度和非线性与传流电容或传感器相当。