专利详情

专利名称	三维集成微机械加速度传感器及制作方法
申请号	CN200510111362.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1821787	公开（授权）日	2006.08.23
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	李昕欣;张鲲;王跃林
主分类号	G01P15/18(2006.01)	IPC主分类号	G01P15/18(2006.01);G01P15/12(2006.01)
专利有效期	三维集成微机械加速度传感器及制作方法至三维集成微机械加速度传感器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种三维集成的高量程加速度传感器。其特征在于所述的三维加速度传感器是由三个相互独立的加速度传感元件集成一体构成的；X、Y轴方向的加速度传感元件的结构相同，其敏感方向在硅平面方向，两个相同结构的传感元件相互垂直排布；Z轴方向的加速度传感元件为另一种结构，其敏感方向为硅片的垂直方向，平行排布于X、Y轴方向的加速度传感元件的一侧；是采用MEMS常规工艺制作，且考虑了两种不同传感元件的工艺兼容问题，使制作的传感器三个方向的敏感元件没有窜扰现象，且可依要求设计出1－10 万g的不同量程的三维高冲击加速度传感器。